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发明名称 Film forming apparatus and method of film formation
摘要
申请公布号 EP1757372(B1) 申请公布日期 2012.04.11
申请号 EP20060017584 申请日期 2006.08.23
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY;BROTHER KOGYO KABUSHIKI KAISHA 发明人 YASUI, MOTOHIRO;AKEDO, JUN
分类号 B05D1/02;B05B1/26;B05B13/02 主分类号 B05D1/02
代理机构 代理人
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