发明名称 电容器结构
摘要 一种电容器结构,包括:设置为包括多个开口的第一电极;在开口的每个中心中形成的第二电极;和形成为包围第二电极并填充第一电极开口的介电层。
申请公布号 CN101752363B 申请公布日期 2012.04.11
申请号 CN200910205684.8 申请日期 2009.10.16
申请人 美格纳半导体有限会社 发明人 柳惟信
分类号 H01L27/02(2006.01)I;H01L29/92(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I;H01L29/41(2006.01)I 主分类号 H01L27/02(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 顾晋伟;王春伟
主权项 一种电容器结构,包括:设置为包括多个开口的第一电极;在每个所述开口的中心形成的第二电极;和形成为包围所述第二电极并填充所述第一电极的开口的介电层。
地址 韩国忠清北道清州市