发明名称 | 电容器结构 | ||
摘要 | 一种电容器结构,包括:设置为包括多个开口的第一电极;在开口的每个中心中形成的第二电极;和形成为包围第二电极并填充第一电极开口的介电层。 | ||
申请公布号 | CN101752363B | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
申请号 | CN200910205684.8 | 申请日期 | 2009.10.16 |
申请人 | 美格纳半导体有限会社 | 发明人 | 柳惟信 |
分类号 | H01L27/02(2006.01)I;H01L29/92(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I;H01L29/41(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;王春伟 |
主权项 | 一种电容器结构,包括:设置为包括多个开口的第一电极;在每个所述开口的中心形成的第二电极;和形成为包围所述第二电极并填充所述第一电极的开口的介电层。 | ||
地址 | 韩国忠清北道清州市 |