氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金

摘要

一种氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金，将以Sn为主要成分的含有特定含量的Zn和In的三元系钎焊合金作为连接陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接材料，陶瓷靶材连接面中温预烧渗极薄的银过渡层，实施陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接，能够低成本、高效率的生产，改善钎料润湿性，提高靶材与同背板的连接性能，实现稳定溅射的溅射靶。本发明的制造氧化物陶瓷溅射靶的方法，有效地实现了靶材与背板的连接，提高了靶的连接强度，连接的抗剪强度达20MPa左右，在进行真空溅射时，能够承受更大的靶功率密度，靶功率密度可达8.2W/cm2。

主权项

一种氧化物陶瓷溅射靶用钎焊合金，其特征在于：用于连接靶材与Cu或Cu合金背板的钎焊合金组成为：以重量百分比计：Zn 3~8.5%，In  4~8%，其余部分为Sn及无法去除的杂质。