电子可擦除可编程只读存储器单元

摘要

本发明涉及一种电子可擦除可编程只读存储器单元，本发明是揭露一种形成器件的方法。该方法包括提供一衬底，其预备有一单元面积，且形成第一及第二晶体管的第一及第二栅极于该单元面积中。该第一栅极包括围绕第一子栅极的第二子栅极。该第一栅极的第一及第二子栅极是通过第一栅极间介电层分隔。该第二栅极包括围绕第一子栅极的第二子栅极。该第二栅极的第一及第二子栅极是通过第二栅极间介电层分隔。该方法亦包括形成该第一及该第二晶体管的第一及第二接面。该方法亦包括形成第一栅极终端及形成第二栅极终端，该第一栅极终端是耦合至该第一晶体管的该第二子栅极，而该第二栅极终端是耦合至该第二晶体管的至少该第一子栅极。

主权项

一种形成器件的方法，包含：提供一衬底，其预备有一单元面积；在该单元面积中形成第一及第二晶体管的第一及第二栅极，其中，该第一栅极包括围绕第一子栅极的第二子栅极，该第一栅极的该第一及该第二子栅极是通过第一栅极间介电层分隔；以及该第二栅极包括围绕第一子栅极的第二子栅极，该第二栅极的该第一及该第二子栅极是通过第二栅极间介电层分隔；形成该第一及该第二晶体管的第一及第二接面；形成耦合至该第一晶体管的该第二子栅极的第一栅极终端；以及形成耦合至该第二晶体管的至少该第一子栅极的第二栅极终端。