对于单氯硅烷的罐表面处理

摘要

本发明涉及容器和用于钝化容器的内表面以使得以稳定的方式储存单氯硅烷而没有单氯硅烷的降解的处理方法。已经确定了降低表面反应至可接受的水平的各种容器表面改性。所述表面改性的一些导致单氯硅烷的不稳定性显著降低。

主权项

一种具有能够以稳定的状态容纳单氯硅烷的内表面改性的容器，其中，所述内表面选自：(a)由机械抛光产生的表面；(b)由电抛光产生的表面；(c)通过有机分子的疏水保护层的形成而产生的表面；(d)通过提供不锈钢内表面而产生的表面；(e)通过提供铝内表面而产生的表面；(f)通过提供镍内表面而产生的表面；(g)由聚合物涂层产生的表面；(h)具有氧化硅涂层的表面；(i)具有与金属分子键合的晶体碳层的表面；(j)具有金属氟化物钝化层的表面；(k)具有通过暴露于硅烷类而与金属键合的硅烷钝化层的表面；(l)具有失活的羟基的表面；且所述容器容纳一定量的单氯硅烷。