发明名称 涂层、具有该涂层的被覆件及该被覆件的制备方法
摘要 本发明提供一种涂层,该涂层包括ZrYN沉积层,该沉积层以磁控溅射镀膜法形成。该涂层具有较高的硬度、良好的韧性及耐磨性。本发明还提供种具有上述涂层的被覆件。该被覆件包括基体、依次形成于该基体表面的ZrY结合层及所述涂层。另外,本发明还提供了上述被覆件的制备方法。
申请公布号 CN102409302A 申请公布日期 2012.04.11
申请号 CN201010289292.7 申请日期 2010.09.23
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;马闯
分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;B32B15/04(2006.01)I 主分类号 C23C14/35(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种涂层,包括沉积层,其特征在于:该沉积层为ZrYN层,该沉积层以磁控溅射镀膜法形成。
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