发明名称 Vorrichtung zur Aufdampfung einer dünnen Schicht bestimmten Profils auf eine Unterlage im Vakuum
摘要
申请公布号 AT289500(B) 申请公布日期 1971.04.26
申请号 AT19680009679 申请日期 1968.10.04
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 发明人 ALAIN CONSTANS;GERARD DAURY;PIERRE LOSTIS;JACQUES SIMON
分类号 C23C14/04;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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