发明名称 |
Vorrichtung zur Aufdampfung einer dünnen Schicht bestimmten Profils auf eine Unterlage im Vakuum |
摘要 |
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申请公布号 |
AT289500(B) |
申请公布日期 |
1971.04.26 |
申请号 |
AT19680009679 |
申请日期 |
1968.10.04 |
申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE |
发明人 |
ALAIN CONSTANS;GERARD DAURY;PIERRE LOSTIS;JACQUES SIMON |
分类号 |
C23C14/04;(IPC1-7):C23C13/08 |
主分类号 |
C23C14/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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