一种抗腐蚀硅片研磨设备

摘要

本实用新型公开了一种抗腐蚀硅片研磨设备，所述研磨设备包括一个倒U形研磨粉导入管、一个研磨粉注入槽架以及一个研磨粉导入管固定架；研磨粉注入槽架固定在研磨盘的上部，由研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入研磨盘上的研磨粉输入端；研磨粉导入管固定架固定在汽缸提升杆上，倒U形研磨粉导入管固定在研磨粉导入管固定架的侧壁，固定后的倒U形研磨粉导入管的输出管口垂直位于研磨粉注入槽架中的注入槽上方，倒U形研磨粉导入管的另一端经软管连接至研磨粉定量泵的输出端。采用本种结构的硅片研磨机，改善了研磨粉添加结构，不再使用金属管路而使用由硅胶软管和硬塑料材料制成的滴管来替代，因此具有较强的抗腐蚀性。

主权项

一种抗腐蚀硅片研磨设备，所述研磨设备包括研磨粉定量泵、支架、提升架、汽缸、研磨盘和研磨机底座，在所述研磨机底座的底端上连接有定位托盘的汽缸提升杆以及固定有研磨齿圈和行星轮，其特征在于，所述硅片研磨机还包括一个倒U形研磨粉导入管、一个研磨粉注入槽架以及一个研磨粉导入管固定架；所述研磨粉注入槽架固定在研磨盘的上部，由所述研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入所述研磨盘上的研磨粉输入端；所述研磨粉导入管固定架固定在所述汽缸提升杆上，所述倒U形研磨粉导入管固定在研磨粉导入管固定架的侧壁，固定后的倒U形研磨粉导入管的输出管口垂直位于研磨粉注入槽架中的注入槽上方，所述倒U形研磨粉导入管的另一端经软管连接至所述研磨粉定量泵的输出端。