调节金属研磨速率并改善研磨过程中产生的缺陷的方法

摘要

本发明公开了一种调节金属研磨速率并改善研磨过程中产生的缺陷的方法，其中，在研磨设备上附加一导电系统，使研磨液带电；在研磨过程中，研磨液流经研磨垫和需要被研磨的晶圆，使晶圆被研磨的金属表面带有电荷，以控制被研磨的金属表面的氧化作用。本发明解决了现有研磨过程中容易形成碟形、侵蚀缺陷的问题，通过附加设置导电系统使研磨液电位改变，进而控制被研磨的金属的研磨率，达到减少研磨过程中出现的碟形、侵蚀缺陷的目的。

主权项

一种调节金属研磨速率并改善研磨过程中产生的缺陷的方法，其特征在于，在研磨设备上附加一导电系统，使研磨液带电；在研磨过程中，研磨液流经研磨垫和需要被研磨的晶圆，使晶圆被研磨的金属表面带有电荷，以控制被研磨的金属表面的氧化作用。