将预定元件置于目标平台的装置和方法

摘要

本发明一般来讲涉及组装技术。根据本发明，描述了在组装中改进元件放置精度的对准和探测技术。更具体地，本发明包括在各种探测技术中通过在元件结合对准标记并且在目标平台上结合参考标记而检测和改进目标平台上元件放置准确度的方法和结构。组成阵列以形成多传感器探头的一组传感器能够在组装中检测偏移元件的偏移。

主权项

一种用于将一个或多个元件组装到一个或者多个目标平台上的系统，所述系统包括元件中的对准标记组，所述元件包括对元件放置在目标平台上的精度进行检测的接触区域，所述对准标记组包括从以下当中选择的多个对准标记中的至少一个：传导路径，其配置成将电流从所述元件的一个区域传导到另一个区域，所述传导路径促进对所述元件放置在所述目标平台上的位置精度的检测；能将入射光接收并转换成电流的光电检测区域，其配置成将所述电流引导通过电气路径到所述元件的另一个区域；能将入射光接收并转换成电流的光电检测区域，其配置成将所述电流引导通过电气路径到所述元件的发光区域，在所述发光区域，所述电流被转换成光信号；光传输区域，其配置成通过光学路径连接到所述元件的另一光传输区域；多个传导路径配置成将来自所述元件的一组区域的信号传导到另一组区域，所述多个传导路径促进得出将所述元件放置在目标平台上的位置位移和定向误差；在所述元件表面上的几何标记，其用在非接触对准中，所述几何标记促进将所述元件放置在所述目标平台上的位置精度的检测；或者在所述元件表面上的多个几何标记，其用在非接触对准中，所述多个几何标记促进得出将所述元件放置在所述目标平台上的位置位移和方位误差；以及参考标记组，其设置为用于所述目标平台上的所述对准标记组以将所述元件对准所述目标平台；所述参考标记组包括从以下当中选择的多个参考标记中的至少一个：在所述目标平台的表面上的参考垫，其配置成将电流传导到所述目标平台的内部迹线；在所述目标平台的表面上的参考垫，其配置成将电流传导到所述目标平台的内部平面；在所述目标平台的表面上的几何标记，其用在非接触对准中；或者在所述目标平台上的元件焊接区图案中的接触点；其中，所述元件的所述对准标记组相对于所述元件的所述接触区域放置在预定空间位置处；并且其中，所述对准标记组和所述元件的所述接触区域之间的空间关系和所述参考标记组与所述目标平台的目标焊接区图案的空间关系匹配。