一种提升上盘平稳度的硅片研磨设备

摘要

本实用新型公开了一种提升上盘平稳度的硅片研磨设备，所述研磨设备包括支架、汽缸、汽缸提升杆、提升架、研磨盘以及固定有研磨齿和行星轮的研磨机底座，在所述汽缸提升杆底端连接的定位托盘其上端面与提升架顶端的下端面之间有一块支撑板，所述支撑板主体为一块平板，在所述平板的一侧设有带弧形面的滑动凹槽，所述汽缸提升杆位于所述滑动凹槽内，在所述支撑板表面附着一层聚四氟乙烯膜。采用本种结构的硅片研磨设备，由于在所述汽缸提升杆底端连接的定位托盘的上端面与提升架顶端的下端面之间设置有一块支撑板，该支撑板避免了在提升过程中，提升架发生晃动的现象。

主权项

一种提升上盘平稳度的硅片研磨设备，所述研磨设备包括支架、汽缸、汽缸提升杆、提升架、研磨盘以及固定有研磨齿和行星轮的研磨机底座，其特征在于，在所述汽缸提升杆底端连接的定位托盘其上端面与提升架顶端的下端面之间有一块支撑板，所述支撑板主体为一块平板，在所述平板的一侧设有带弧形面的滑动凹槽，所述汽缸提升杆位于所述滑动凹槽内，在所述支撑板表面附着一层聚四氟乙烯膜。