发明名称 IGBT结构及其制备方法
摘要 本发明公开了一种IGBT结构,该IGBT结构中的集电极区域和基区之间的PN结界面为类波浪形界面。这种结构增大了PN结界面的实际面积,将有效提高IGBT集电极端的单位硅片面积发射效率,提高了器件的导电能力。本发明还公开了一种IGBT结构的制备方法。
申请公布号 CN102412270A 申请公布日期 2012.04.11
申请号 CN201110183372.9 申请日期 2011.07.01
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 张帅;刘坤
分类号 H01L29/36(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I 主分类号 H01L29/36(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 丁纪铁
主权项 一种IGBT结构,其特征在于:所述IGBT结构的集电极区域和基区之间的PN结界面为类波浪形界面。
地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号