| 发明名称 | 多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法，包括坩埚本体，其特征在于所述坩埚本体中组分以重量百分比含量计包括：Si3N4 60%~98%；SiO2和/或SiNxOy 2%~40%；其中x、y满足关系式：3×x+2×y=4。该多晶硅铸锭用坩埚可以用于多晶硅的多次铸锭，反复使用次数在20次以上。 | ||
| 申请公布号 | CN102409394A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201110397705.8 | 申请日期 | 2011.12.05 |
| 申请人 | 苏州纳迪微电子有限公司 | 发明人 | 王宇湖 |
| 分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 范晴 |
| 主权项 | 一种多晶硅铸锭用坩埚，包括坩埚本体，其特征在于所述坩埚本体中组分以重量百分比含量计包括：Si3N4 60%~98%； SiO2和/或SiNxOy 2%~40%；其中x、y满足关系式：3×x +2×y = 4。 | ||
| 地址 | 215129 江苏省苏州市新区湘江路1433号 | ||