| 发明名称 | 催化生长形成的线表面上的金属催化剂残余物的除去方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种催化生长形成的线表面上的金属催化剂残余物的除去方法，具体是一种由第一材料(3)制成且通过催化生长得到的固体结构的表面上存在的催化剂残余物(2)的除去方法，包括以下步骤：从所述催化剂残余物(2)催化生长由第二材料(4)制成的固体结构；选择性除去由第二材料(4)制成的所述固体结构。 | ||
| 申请公布号 | CN102412119A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201110256270.5 | 申请日期 | 2011.08.25 |
| 申请人 | 原子能与替代能源委员会 | 发明人 | 西蒙·佩罗;菲利普·科罗内尔 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 蔡胜有;张耀宏 |
| 主权项 | 一种由第一材料(3)制成且通过催化生长得到的固体结构的表面上存在的催化剂残余物(2)的除去方法，包括以下步骤：‑从所述催化剂残余物(2)催化生长由第二材料(4)制成的固体结构；‑选择性除去由第二材料(4)制成的所述固体结构。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||