基片支承装置及其静电释放方法

摘要

本发明公开了一种基片支承装置及其静电释放方法，所述基片支承装置包括：用于放置基片的基片座，位于基片下面的升针机构和放电机构，所述放电机构包括：贯穿所述基片座并能够相对于基片座来回移动的探针，驱动所述探针移动的驱动部件，以及将所述探针与大地之间连接的开关。本发明公开的基片支承装置在具有升针机构的基础上仅附加由探针、阻尼部件和开关组成的放电机构，即可将基片中的残余静电完全释放，相对于现有技术而言，装置结构简单、制造和维护成本较低。另外，所述基片支承装置的静电释放方法，放电过程简单，不需要复杂的反馈机构界定一个基片应变的极限进行区分，不受响应时间的限制，能够在短时间内将基片的残余静电迅速释放。

主权项

一种基片支承装置，其特征在于，包括：用于放置基片的基片座，位于基片下面的升针机构和放电机构，其中：所述放电机构包括：贯穿所述基片座并能够相对于基片座来回移动的探针，驱动所述探针移动的驱动部件，以及将所述探针与大地之间连接的开关；所述升针机构包括：贯穿所述基片座并能够相对于基片座来回移动的举升针组，与所述举升针组连接的举升板，以及驱动所述举升针组移动的驱动部件；所述探针远离基片的一端设有阻尼部件，探针通过所述阻尼部件与所述举升板活动连接，所述探针的驱动部件为举升针组的驱动部件。