发明名称 传送盒接口和包含传送盒接口的分析设备
摘要 本发明涉及一种传送盒(1)接口(6),包括将要连接到气体分析器的取样探头(15)以及致动器(7),所述致动器在耦合位置耦合到为所述传送盒(1)提供入口的门(5),并在收回位置可以将所述门(5)移向所述接口(6)的基底(14),其中在收回位置所述取样探头(15)可以探及包含在所述传送盒(1)内的有待分析的气体体积。本发明的特征在于所述接口包括至少一个密封(31),其被配置为至少在所述收回位置提供所述致动器(7)与所述基底(14)之间的密封,以便隔离有待分析的气体体积。
申请公布号 CN101681865B 申请公布日期 2012.04.11
申请号 CN200880018676.6 申请日期 2008.04.21
申请人 阿尔卡特朗讯公司 发明人 E·戈多
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 杨晓光;周良玉
主权项 一种传送盒接口,包括将要连接到气体分析器的取样探头以及致动器,所述致动器在耦合位置与所述传送盒上的入口门耦合,并在收回位置将所述入口门移向所述接口的基底,其中在收回位置所述取样探头可以探及包含在所述传送盒内的有待分析的气体体积,所述接口包括至少一个密封接头,所述至少一个密封接头恒常接触板的与所述入口门耦合到的表面相反的表面以及所述基底的至少一个壁两者,并且所述接口被配置为确保至少在所述接口处于所述收回位置时,以隔离所述有待分析的气体体积的方式来密封所述致动器与所述基底之间的空间。
地址 法国巴黎