一种硅片加工卡具

摘要

本实用新型公开了一种硅片加工卡具，该卡具包括：底座，所述底座为圆柱体；多个四面锥体，所述四面锥体均匀分布在所述底座的上表面，所述四面锥体的锥端均朝向底座上表面的中心；多个立柱，所述多个立柱直立固定在底座的上表面，且位于两两四面锥体之间。该硅片加工卡具可应用到甩干、清洗、涂胶、检测等硅片加工方面，根据硅片的大小和形状制成不同尺寸，不使用真空吸附，硅片正表面同卡具不接触，背表面及边缘同硅片实现点接触，避免背面的二次粘污，可保证硅片两面的洁净程度，转动稳定，不会由于旋转、移动等加工操作飞片，不会由于边缘存在死角载甩干等环节中在硅片边缘留下水迹。

主权项

一种硅片加工卡具，其特征在于，所述卡具包括：底座，所述底座为圆柱体，或为矩形体；多个四面锥体，所述四面锥体均匀分布在所述底座的上表面，所述四面锥体的锥端均朝向底座上表面的中心；多个立柱，所述多个立柱直立固定在底座的上表面，且位于两两四面锥体之间。