一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构

摘要

本实用新型公开了一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，在所述壳体上连接有柔性排屑管，在所述壳体和/或柔性排屑管上设有环形密封槽，在所述密封槽内装有密封圈；所述柔性排屑管与真空抽吸器或吸粉箱连接。本实用新型通过在壳体上连接一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管，由所述抽排管路的吸力就可将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。

主权项

一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，其特征在于，在所述壳体上连接有柔性排屑管，在所述壳体和/或柔性排屑管上设有环形密封槽，在所述密封槽内装有密封圈。