| 发明名称 |
一种塔板式曲折通路低温等离子气体发生器 |
| 摘要 |
本发明公开了一种塔板式曲折通路低温等离子气体发生器。(1)等离子气体发生器的一侧接有电源(1)，与电源(1)同一侧中部有进气口(2)，另一侧中部有出气口(3)；(2)等离子气体发生器采用两排针状电极作为放电电极，正极(4)和负极(5)极组间隔为30-50mm；极组内各针状极柱等距排布，间距2-10mm；(3)每隔2-5个针状电极极柱设置一个分隔塔板(6)；分隔塔板(6)与外壳(7)之间用玻璃胶进行密封。本发明制作简单，成本低，能产生密度高且均匀的等离子气体。 |
| 申请公布号 |
CN102413628A |
申请公布日期 |
2012.04.11 |
| 申请号 |
CN201110345095.7 |
申请日期 |
2011.11.02 |
| 申请人 |
桂林理工大学 |
发明人 |
罗鲲;黄涛;李小刚 |
| 分类号 |
H05H1/24(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/24(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种等离子气体发生器，其特征在于：(1)等离子气体发生器的一侧接有电源(1)，与电源(1)同一侧中部有进气口(2)，另一侧中部有出气口(3)；(2)等离子气体发生器采用两排针状电极作为放电电极，正极(4)和负极(5)极组间隔为30‑50mm；极组内各针状极柱等距排布，间距2‑10mm；(3)每隔2‑5个针状电极极柱设置一个分隔塔板(6)；分隔塔板(6)与外壳(7)之间用玻璃胶进行密封。 |
| 地址 |
541004 广西壮族自治区桂林市建干路12号桂林理工大学 |
