微影机及基板处理的配置

摘要

一种包括多个带电粒子微影设备的装置，每个带电粒子微影设备均具有真空腔室(400)。该装置进一步包括：共用自动机(305)，用以将晶圆运送到该多个微影设备；以及用于每个带电粒子微影设备的晶圆装载单元(303)，被布置成在每个相应真空腔室(400)的正面。该多个微影设备被布置成行，且微影设备的正面面向过道(310)，该过道用以让共用自动机(305)通过，以便将晶圆运送至每个设备；以及，每个微影设备的背面面向通道廊道(306)，且每个真空腔室的后壁均设置有通道门，用以通往相应微影设备。

主权项

一种包括多个带电粒子微影设备的装置，每个带电粒子微影设备均具有真空腔室(400)，所述装置进一步包括：共用自动机(305)，用以将晶圆运送到所述多个微影设备；以及用于每个带电粒子微影设备的晶圆装载单元(303)，被布置在每个相应真空腔室(400)的正面；其中所述多个微影设备被布置成行，且所述微影设备的正面面向过道(310)，所述过道用以让所述共用自动机(305)通过，以便将晶圆运送至每个设备；并且其中每个微影设备的背面面向通道廊道(306)，并且每个真空腔室的后壁均设置有通道门，用以通往相应的微影设备。