发明名称 真空泵
摘要 一种用于泵送腐蚀性流体的多级真空泵,其中第一流动部段的材料的耐腐蚀性小于第一流动部段下游的第二流动部段的材料。
申请公布号 CN102414449A 申请公布日期 2012.04.11
申请号 CN201080018922.5 申请日期 2010.03.31
申请人 爱德华兹有限公司 发明人 E. U.奥科罗亚富尔
分类号 F04C25/02(2006.01)I;F04C23/00(2006.01)I 主分类号 F04C25/02(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 赵华伟;傅永霄
主权项 一种用于泵送腐蚀性流体的真空泵,所述泵包括:泵送机构,其包括在高真空流体入口与低真空流体出口之间沿着流体流动路径的多个泵送级,且其中在所述流动路径的第一部段的所述泵送机构的材料耐腐蚀性小于所述第一部段下游的所述流动路径的第二部段的所述泵送机构的材料。
地址 英国西萨塞克斯郡