发明名称 单晶炉的观察单晶棒生长装置
摘要 本实用新型公开了一种单晶炉的观察单晶棒生长装置,在副炉的侧壁上开有观察孔,所述观察孔上铰接有观察窗,观察窗上带有透明玻璃,副炉的侧壁上设有直径传感器,直径传感器外连接有控制装置。本实用新型可透过观察窗直接观察单晶硅的生长过程,通过直径传感器可直接测量单晶硅的直径大小,结构设计简单,提高了单晶硅的质量。
申请公布号 CN202187076U 申请公布日期 2012.04.11
申请号 CN201120264730.4 申请日期 2011.07.25
申请人 合肥景坤新能源有限公司 发明人 林游辉
分类号 C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人 方琦
主权项 单晶炉的观察单晶棒生长装置,在副炉的侧壁上开有观察孔,其特征在于:所述观察孔上铰接有观察窗,观察窗上带有透明玻璃,副炉的侧壁上设有直径传感器,直径传感器外连接有控制装置。
地址 231600 安徽省合肥市肥东县新城开发区荷花路13号