发明名称 | 单晶炉的观察单晶棒生长装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉的观察单晶棒生长装置,在副炉的侧壁上开有观察孔,所述观察孔上铰接有观察窗,观察窗上带有透明玻璃,副炉的侧壁上设有直径传感器,直径传感器外连接有控制装置。本实用新型可透过观察窗直接观察单晶硅的生长过程,通过直径传感器可直接测量单晶硅的直径大小,结构设计简单,提高了单晶硅的质量。 | ||
申请公布号 | CN202187076U | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
申请号 | CN201120264730.4 | 申请日期 | 2011.07.25 |
申请人 | 合肥景坤新能源有限公司 | 发明人 | 林游辉 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人 | 方琦 |
主权项 | 单晶炉的观察单晶棒生长装置,在副炉的侧壁上开有观察孔,其特征在于:所述观察孔上铰接有观察窗,观察窗上带有透明玻璃,副炉的侧壁上设有直径传感器,直径传感器外连接有控制装置。 | ||
地址 | 231600 安徽省合肥市肥东县新城开发区荷花路13号 |