发明名称 |
半导体器件塑封抽真空装置 |
摘要 |
本实用新型涉及半导体器件封装技术领域,尤其是涉及半导体器件塑封抽真空装置。其包括有塑封机,塑封机上设有塑封模具,塑封模具合模后可形成密封空间,一真空容器罐通过真空管道连通塑封模具合模后形成的密封空间,于真空管道上设有抽气阀、放气阀及真空压力表,真空压力表通过压力信号线连接塑封机进行信号控制;所述真空容器罐与一真空泵连通。本实用新型通过抽真空,可使产品在真空工艺条件下外观质量得到明显改善,提升其成品率,符合产业利用及推广,其结构简单,科学合理,投资成本低,且操作运行简便,维护检修十分方便。 |
申请公布号 |
CN202189760U |
申请公布日期 |
2012.04.11 |
申请号 |
CN201120304656.4 |
申请日期 |
2011.08.19 |
申请人 |
汕头华汕电子器件有限公司 |
发明人 |
黄振忠;谢伟波;张伟洪;郭树源;蚁淡星 |
分类号 |
H01L21/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/56(2006.01)I |
代理机构 |
汕头市南粤专利商标事务所(特殊普通合伙) 44301 |
代理人 |
何办君 |
主权项 |
半导体器件塑封抽真空装置,包括有塑封机(1),其特征在于:塑封机(1)上设有塑封模具(11),塑封模具(11)合模后可形成密封空间,一真空容器罐(2)通过真空管道(21)连通塑封模具(11)合模后形成的密封空间,于真空管道(21)上设有抽气阀(3)、放气阀(6)及真空压力表(4),真空压力表(4)通过压力信号线(41)连接塑封机(1)进行信号控制;所述真空容器罐(2)与一真空泵(5)连通。 |
地址 |
515041 广东省汕头市金平区兴业路27号 |