| 发明名称 | 一种在线处理设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种在线处理设备，包括冷却腔(21)和载台(25)，所述冷却腔与所述载台之间设置有第一载板传输装置(22)和第二载板传输装置(23)，所述载台可选择地与所述第一载板传输装置的第一端或者第二载板传输装置的第一端配合，所述冷却腔内部设置有第三载板传输装置(20)，所述第三载板传输装置可选择地与所述第一载板传输装置的第二端或者所述第二载板传输装置的第二端配合。载板(24)只需在冷却腔中即可实现返回，并在载台上实现装载和卸载，无需为设备另外安装卸载台，从而减小了该在线处理设备的占地面积，降低设备运行空间的清洁作业成本，进而能够降低设备的使用成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101882565B | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201010198050.7 | 申请日期 | 2010.06.03 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 南建辉;宋巧丽 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 魏晓波;逯长明 |
| 主权项 | 一种在线处理设备，包括冷却腔(21)和载台(25)，所述冷却腔(21)与所述载台(25)之间设置有第一载板传输装置(22)和第二载板传输装置(23)，所述载台(25)与所述第一载板传输装置(22)的第一端或者第二载板传输装置(23)的第一端配合，其特征在于，所述冷却腔(21)内部设置有第三载板传输装置(20)，所述第三载板传输装置(20)与所述第一载板传输装置(22)的第二端或者所述第二载板传输装置(23)的第二端配合；任意相配合的两元件之间的横向距离小于被传输载板(24)在该方向的宽度，且任意相配合的两元件之间的纵向距离小于所述被传输载板(24)在该方向上的长度。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||