发明名称 |
In-Ga-Zn-Sn type oxide sinter and target for physical film deposition |
摘要 |
An oxide sintered body including an indium element (In), a gallium element (Ga), a zinc element (Zn) and a tin element (Sn), and including a compound shown by Ga2In6Sn2O16 or (Ga,In)2O3. |
申请公布号 |
US8153031(B2) |
申请公布日期 |
2012.04.10 |
申请号 |
US20070599548 |
申请日期 |
2007.11.30 |
申请人 |
YANO KOKI;INOUE KAZUYOSHI;IDEMITSU KOSAN CO., LTD. |
发明人 |
YANO KOKI;INOUE KAZUYOSHI |
分类号 |
H01B1/02 |
主分类号 |
H01B1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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