发明名称 In-Ga-Zn-Sn type oxide sinter and target for physical film deposition
摘要 An oxide sintered body including an indium element (In), a gallium element (Ga), a zinc element (Zn) and a tin element (Sn), and including a compound shown by Ga2In6Sn2O16 or (Ga,In)2O3.
申请公布号 US8153031(B2) 申请公布日期 2012.04.10
申请号 US20070599548 申请日期 2007.11.30
申请人 YANO KOKI;INOUE KAZUYOSHI;IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 发明人 YANO KOKI;INOUE KAZUYOSHI
分类号 H01B1/02 主分类号 H01B1/02
代理机构 代理人
主权项
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