| 摘要 |
1. Способ изготовления тонких пленок на основе моносульфида самария путем осаждения моносульфида самария на подложке, отличающийся тем, что на подложку в вакууме осаждают методом импульсного лазерного осаждения слой моносульфида самария при комнатной температуре из стехиометрической мишени SmS. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что после осаждения осуществляют отжиг пленки в вакууме в диапазоне температур T=700-900 K. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка выполнена из монокристаллического кремния с удаленным естественным окислом. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка выполнена из аморфного материала. ! 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка выполнена из оптического стекла. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка выполнена из металла. ! 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка выполнена из органического материала. ! 8. Способ по п.7, отличающийся тем, что подложка выполнена из ацетилцеллюлозы. ! 9. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень выполнена в виде спрессованной из стехиометричесого порошка таблетки. ! 10. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень выполнена в виде монокристалла SmS. ! 11. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень выполнена в виде поликристалла SmS. |
