Mikromechanisches Substrat

摘要

Es wird ein Mikromechanisches Substrat angegeben, das wenigstens zwei separate einkristalline Siliziumschichten aufweist und das in einem Teilbereich eine Membran aufweist, wobei die Dicke der Membran weniger als 20μμm beträgt und wobei die Membran einen Teil einer ersten der einkristallinen Siliziumschichten umfasst, weiterhin mit einem Beheizungselement, das ausgestaltet ist, in wenigstens einem Teil der Membran eine Temperatur von mehr als 650°C zu erzeugen, sowie mit wenigstens einer Diffusionssperrschicht zur Verminderung der Oxidation der ersten einkristallinen Siliziumschicht.