Verfahren für die Herstellung eines Quarzglastiegels mit transparenter Innenschicht aus synthetisch erzeugtem Quarzglas

摘要

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels mit einer Innenschicht aus transparentem, synthetisch erzeugtem Quarzglas anzugeben, der sich durch eine lange Standzeit auszeichnet. Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch ein Verfahren gelöst, das folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Erzeugen eines eine Innenseite aufweisenden gasdurchlässigen Tiegelsubstrats durch Verfestigen mindestens der Oberfläche einer Partikelschicht aus SiO2-Partikeln, (b) Abscheiden einer porösen SiO2-Sootschicht auf mindestens einer Teilfläche der Innenseite des Tiegelsubstrats durch Gasphasenabscheidung, und (c) vakuumunterstützes Sintern der porösen SiO2-Sootschicht und mindestens eines Teils des Tiegelsubstrats mittels eines Lichtbogens und unter einem über die Wandung einer Vakuum-Schmelzform einwirkenden Vakuum, unter Bildung des Quarzglastiegels und der Innenschicht aus transparentem Quarzglas.