Verfahren zum Wiederherstellen des Betriebszustandes der Entladung beim Magnetronsputtern und Schaltung zur Durchführung des Verfahrens

摘要

Verfahren zum Wiederherstellen des Betriebszustandes der Entladung beim Magnetronsputtern durch Erzeugen eines kurzzeitigen Kurzschlusses zwischen einem Rezipienten (4) und einer Anode (1), dadurch gekennzeichnet, dass – die Spannung an der Anode (1) überwacht wird, – wenn die Spannung an der Anode (1) einen ersten Schwellwert überschreitet, ein zwischen der Anode (1) und dem Rezipienten (4) geschalteter IGBT (12), für eine Zeitdauer t1 leitend geschaltet wird, damit zwischen der Anode (1) und dem Rezipienten (4) für diese Zeit ein Kurzschluss erzeugt wird, – nach Ablauf der Zeit t1 der IGBT (12) wieder gesperrt wird, – wenn die Spannung an der Anode (1) einen zweiten Schwellwert überschreitet, der IGBT (12), für eine Zeitdauer t2 leitend geschaltet wird, damit zwischen der Anode (1) und dem Rezipienten (4) für diese Zeit ein Kurzschluss erzeugt wird, – nach Ablauf der Zeit t2 der IGBT (12) wieder gesperrt wird.