发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Laser korrigierenden Tool-Parametern
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Bestimmen zumindest eines unbekannten Laserstrahlparameters eines Laserstrahls, der zum Korrigieren von Fehlern eines transparenten Materials eingesetzt wird, aufweisend das Induzieren einer ersten bleibenden Modifikation in dem Material durch eine Wechselwirkung mit dem Laserstrahl, der einen ersten Satz von Laserstrahlparametern aufweist, das Messen der induzierten ersten bleibenden Modifikation des Materials, das Berechnen einer zweiten bleibenden Modifikation in dem Material unter Verwendung eines Modells, das bleibende Modifikationen in dem Material beschreibt mit einem zweiten Satz von Laserstrahlparametern, wobei der erste Satz von Laserstrahlparametern den zweiten Satz von Laserstrahlparametern und den zumindest einen unbekannten Laserstrahlparameter umfasst, das Aufstellen eines Zielfunktionals, das die erste bleibende Modifikation und die zweite bleibende Modifikation umfasst und das Bestimmen des zumindest einen unbekannten Laserstrahlparameters durch Minimieren des Zielfunktionals.
申请公布号 DE102011083774(A1) 申请公布日期 2012.04.05
申请号 DE20111083774 申请日期 2011.09.29
申请人 CARL ZEISS SMS LTD. 发明人 DMITRIEV, VLADIMIR
分类号 G03F1/72;G03F7/20;H01S3/00 主分类号 G03F1/72
代理机构 代理人
主权项
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