使用双光子吸收的激光辅助设备改造

摘要

本发明提供一种双光子激光辅助设备改造技术。通过应用非线性双光子吸收机制诱生LADA效应来研究缺陷定位。在DUT由测试向量激励的同时，具有光子能量低于硅带隙的波长的飞秒激光脉冲被引导至感兴趣区域。该激光脉冲同步于DUT激励，以使得使用双光子吸收效应可以改变切换计时。

主权项

一种用于在被测设备(DUT)中执行缺陷定位的系统，其中所述DUT由测试器激励，所述系统包括：激光源，提供具有飞秒脉冲宽度和大于硅带隙的波长的激光束脉冲；光学元件，接收所述激光束脉冲并将所述激光束脉冲引导至所述DUT中的感兴趣区域上；计时电子设备，从所述测试器接收同步信号并根据所述同步信号控制所述激光源的计时；其中，选择所述激光束脉冲的所述脉冲宽度和波长，以在所述DUT中产生双光子吸收。