固化皮膜图案形成用组合物及使用其的固化皮膜图案的制作方法

摘要

为了制成可延长主剂与固化剂混合后的适用期(可使用时间)，或制成作为一液的保存稳定性优异的组合物，固化皮膜图案形成用组合物由如下物质组合而成：不含热固化催化剂的碱显影型的光固化性热固化性组合物；以及由含氮杂环式化合物构成的热固化反应促进用碱性固化催化剂的水溶液形成的显影液。优选的是，上述碱性固化催化剂为具有脒部位的杂环式化合物。上述光固化性热固化性组合物的皮膜通过活性能量射线照射进行选择性曝光后，用上述显影液显影来除去未曝光部。此时，上述碱性固化催化剂浸透于经光固化的涂膜，并掺杂其中，由此显影图案化特性、热固化性均优异。

主权项

一种固化皮膜图案的制作方法，其特征在于，所述固化皮膜图案如下制作：使用不含热固化催化剂、并含有(A)含羧基感光性化合物(A‑1)或含羧基化合物(A‑2)与具有烯属不饱和双键的化合物(A‑3)、(B)光聚合引发剂、以及(C)热固化性树脂作为必须成分的固化皮膜图案形成用光固化性热固化性组合物，并通过对所述不含热固化催化剂的光固化性热固化性组合物的皮膜照射活性能量射线进行选择性曝光，然后，用由含氮杂环式化合物构成的热固化反应促进用碱性固化催化剂的水溶液形成的显影液进行显影，由此除去未曝光部，并且使上述碱性固化催化剂掺杂至皮膜曝光部，接着，加热固化。