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发明名称
摘要
申请公布号
FR2072116(A1)
申请公布日期
1971.09.24
申请号
FR19700044225
申请日期
1970.11.19
申请人
IBM
发明人
分类号
H01L21/00;H01L27/00;H01L29/00;H01L29/08;(IPC1-7):H01L5/00;H01L11/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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