发明名称
摘要
申请公布号 FR2072115(A1) 申请公布日期 1971.09.24
申请号 FR19700043243 申请日期 1970.11.26
申请人 IBM 发明人
分类号 B26D1/553;B26D1/547;B28D5/04;H01L21/301;(IPC1-7):H01L7/00 主分类号 B26D1/553
代理机构 代理人
主权项
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