发明名称 |
一种超纯电子级醋酸的生产方法 |
摘要 |
本发明涉及一种超纯电子级醋酸的生产方法,包括如下步骤:步骤1,将工业级醋酸进行快速蒸馏;步骤2,通过0.05~0.3μm孔径的过滤膜将馏分进行膜过滤;步骤3,精馏;步骤4,再次进行膜过滤。本发明通过上述设计,可以生产出纯度高达99.8%、单一金属离子含量小于1ppb、≥0.5μm固体杂质颗粒含量小于5个/ml的超纯电子级醋酸,并且本发明提供的生产方法能耗低,操作简单、安全性好。 |
申请公布号 |
CN102399140A |
申请公布日期 |
2012.04.04 |
申请号 |
CN201010284450.X |
申请日期 |
2010.09.17 |
申请人 |
上海华谊微电子材料有限公司 |
发明人 |
詹家荣;周励 |
分类号 |
C07C53/08(2006.01)I;C07C51/42(2006.01)I |
主分类号 |
C07C53/08(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
王敏杰 |
主权项 |
一种超纯电子级醋酸的生产方法,其特征在于,步骤如下:步骤1,将工业级醋酸进行蒸馏,以≥20L/min的速度收集馏分;步骤2,采用0.05~0.3μm孔径过滤膜对步骤1中收集的馏分进行过滤;步骤3,将滤液进行精馏;收集馏分;步骤4,采用0.05~0.3μm孔径过滤膜对将步骤3中收集的馏分进行过滤,收集滤液,得到目的产物。 |
地址 |
200940 上海市宝山区铁力路3号 |