发明名称 一种超纯电子级醋酸的生产方法
摘要 本发明涉及一种超纯电子级醋酸的生产方法,包括如下步骤:步骤1,将工业级醋酸进行快速蒸馏;步骤2,通过0.05~0.3μm孔径的过滤膜将馏分进行膜过滤;步骤3,精馏;步骤4,再次进行膜过滤。本发明通过上述设计,可以生产出纯度高达99.8%、单一金属离子含量小于1ppb、≥0.5μm固体杂质颗粒含量小于5个/ml的超纯电子级醋酸,并且本发明提供的生产方法能耗低,操作简单、安全性好。
申请公布号 CN102399140A 申请公布日期 2012.04.04
申请号 CN201010284450.X 申请日期 2010.09.17
申请人 上海华谊微电子材料有限公司 发明人 詹家荣;周励
分类号 C07C53/08(2006.01)I;C07C51/42(2006.01)I 主分类号 C07C53/08(2006.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 王敏杰
主权项 一种超纯电子级醋酸的生产方法,其特征在于,步骤如下:步骤1,将工业级醋酸进行蒸馏,以≥20L/min的速度收集馏分;步骤2,采用0.05~0.3μm孔径过滤膜对步骤1中收集的馏分进行过滤;步骤3,将滤液进行精馏;收集馏分;步骤4,采用0.05~0.3μm孔径过滤膜对将步骤3中收集的馏分进行过滤,收集滤液,得到目的产物。
地址 200940 上海市宝山区铁力路3号