热分析传感器以及制造热分析传感器的方法

摘要

在具有基片(1)和形成在基片(1)上的测量位置(3)的热电偶结构(5，6，7，8，9，10)的热分析传感器中，通过热电偶结构的特定形状以及基片(1)的材料选择可获得提高的灵敏度。此外，本发明还涉及这种传感器的制造方法。

主权项

一种热分析传感器，它具有基片(1)，基片(1)能够在与基片(1)热连接的热源与形成在传感器上的至少一个测量位置(3，3’，30，31，32，33)之间传导热流，热分析传感器还具有形成在基片(1)的大体上平的表面(2)上以发出热电信号的热电偶结构，所述热电偶结构包括多个热电偶接点(5，8，9，10)形成的专用于所述测量位置(3，3’，30，31，32，33)的串联链，热电偶接点(5，8，9，10)在一个电路结构中相互连接，并且每个热电偶接点由两种不同热电偶材料(6，7)构成，其特征在于，基片(1)是陶瓷基片，其热导率不大于5W/(m.K)。