压电致动器和微机电器件

摘要

一种压电致动器，包括第一横梁，第一横梁包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端，设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端；以及第二横梁，第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端，该端与设置了连接端的另一端相对；其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。

主权项

一种压电致动器，包括：第一横梁，包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，在第一横梁的一端设置固定端而在第一横梁的另一端设置连接端，该固定端固定在衬底上，该连接端悬浮在自由空间上；以及第二横梁，包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，在第二横梁的一端设置工作端，所述第二横梁的所述设置为工作端的一端与设置为连接端的另一端相反，该工作端悬浮在自由空间上；其中固定端与工作端的中心之间的距离比从工作端到连接端的距离短。