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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR PROCESSING A SUBSTRATE USING A DYNAMIC LIQUID MENISCUS
摘要
申请公布号 EP1547129(B1) 申请公布日期 2012.04.04
申请号 EP20030799316 申请日期 2003.09.29
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 WOODS, CARL, A.;GARCIA, JAMES, P.;DE LARIOS, JOHN, M.;RAVKIN, MICHAEL;REDEKER, FRED, C.
分类号 H01L21/67;H01L25/00;B08B1/02;B08B3/04;H01L21/00 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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