基板冷却控制

摘要

提供精确控制基板冷却的方法与装置。测量基板温度的装置可包括冷却板，冷却板用以支撑基板；传感器，传感器用以提供基板置于冷却板上时与基板的温度相对应的数据；及计算机，计算机耦接至传感器以根据传感器数据确定基板温度。测量基板温度的方法可包括提供要冷却的基板至腔室，腔室具有置于其中的冷却板、提供与基板温度相对应的数据的传感器、及耦接至传感器的计算机；在预定第一时间间隔过去后，感测基板的第一温度；比较第一温度与预定温度；并确定第一温度是否大于、等于或小于预定温度。

主权项

一种用于测量基板温度的装置，包括：冷却板，用以支撑基板；传感器，用以在所述基板置于所述冷却板上时提供与所述基板的温度相对应的数据；及计算机，耦接至所述传感器，以根据所述传感器的数据确定所述基板的温度。