用于玻璃高速加工的电光Q激光器

摘要

一种用于玻璃高速加工的电光Q激光器，包括：一台具有驱动电源和输出耦合光纤的输出波长为880nm的激光二极管；沿所述的耦合光纤输出的激光方向依次是第一平凸透镜和第二平凸透镜、后腔镜、激光介质、偏振片、电光Q开关、λ/4波片、45度反射镜、45度透反镜、倍频晶体和前腔镜；该激光器的输出波长为532nm绿光，平均输出最大功率达11瓦，最高频率达100kHz以上，最大单脉冲能量>1mJ，激光脉宽<5ns；光束质量因子M2≤1.2。本实用新型激光器可用于玻璃表面高速蚀刻、钻孔、切割等应用。

主权项

一种用于玻璃高速加工的电光Q激光器，特征在于其构成包括：一台具有驱动电源（17）和输出耦合光纤（2）的输出波长为880nm的激光二极管（1）；沿所述的耦合光纤（2）输出的激光方向依次是第一平凸透镜（3）和第二平凸透镜（4）、后腔镜（5）、激光介质（6）、偏振片（7）、电光Q开关（8）、λ/4波片（9）、45度反射镜（10）、45度透反镜（11）、倍频晶体（12）和前腔镜（13）；所述的第一平凸透镜（3）和第二平凸透镜（4）的双面镀880nm增透膜，组成整形光学系统；所述的后腔镜（5）、平面反射镜（10）、45度透反镜（11）、前腔镜（13）及置于所述的后腔镜（5）和45度反射镜（10）之间的激光介质（6）、偏振片（7）、电光Q开关（8）、λ/4波片（9）组成1064nm谐振腔，所述的前腔镜（13）与45度透反镜（11）及置于该二者之间的倍频晶体（12）组成倍频腔；所述的后腔镜（5）为平凸透镜结构，所述的后腔镜（5）的凸面为1064nm谐振腔的后腔面，该后腔镜（5）的平面镀880nm增透膜，凸面为0°1064nm高反膜和880nm增透膜；激光介质（6）双端面为0°880nm和1064nm的增透膜；所述的45度反射镜（10）为一块光学平面镜片，单面镀45°1064nm高反膜；所述的45度透反镜（11）的一个单面镀45°1064nm高反膜和532nm高透膜,另一面镀532nm增透膜；所述的前腔镜（13）的凸面镀0°1064nm和532nm高反膜并构成谐振腔的前腔面；所述的45度透反镜（11）成为532nm激光的输出镜；所述的激光二极管（1）的输出耦合光纤（2）的输出端位于所述的整形光学系统的前焦点，该整形光学系统的后焦点处于所述的激光介质（6）之中。