| 发明名称 | 石墨舟（框）干式清洗机 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于硅晶太阳能电池生产设备维护的装置，具体是一种石墨舟（框）干式清洗机。该石墨舟（框）干式清洗机包括有一个内部可安置石墨舟或石墨框的反应腔，反应腔的入口通过进气管与NF3气体源连接，反应腔的出口通过排气管与干式真空泵连接；所述进气管上安装有等离子体发生器。本发明可以利用等离子体氮化硅的反应将石墨舟表面的氮化硅去除，不仅清洗效果好，并且结构简单制造、操作方便、清洗效率高；与传统的湿法槽式清洗相比，清洗过程中不用将石墨舟拆分，不用额外的烘干，效率高并能避免石墨舟的机械损伤。 | ||
| 申请公布号 | CN102397859A | 申请公布日期 | 2012.04.04 |
| 申请号 | CN201110372202.5 | 申请日期 | 2011.11.22 |
| 申请人 | 镇江大全太阳能有限公司 | 发明人 | 黄冲;蒋维楠;季高明 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人 | 夏哲华 |
| 主权项 | 一种石墨舟（框）干式清洗机，其特征是：它包括有一个内部可安置石墨舟或石墨框的反应腔（1），反应腔的入口通过进气管（2）与NF（3）气体源连接，反应腔的出口通过排气管与干式真空泵（4）连接；所述进气管上安装有等离子体发生器（5）。 | ||
| 地址 | 212211 江苏省镇江市扬中市新坝镇新中南路66号 | ||