晶片检查用接口和晶片检查装置

摘要

提供一种晶片W检查用接口，能够实现检查室的省空间化，并且多个检查室共用对准机构。本发明的晶片W检查用接口IF，具备：探针卡(19)；将晶片W吸附在探针卡(19)上的吸附机构(20)；吸附探针卡(19)的晶片吸附用密封部件(21)；相对于卡保持具(22)固定晶片吸附用密封部件(21)的固定环(23)，吸附机构(20)，具备：排气单元；右端部在密闭空间开口左端部在固定环侧开口的第一通气路径(19C)；右端部与第一通气路径(19C)的左端部开口相对开口右端部与排气单元连接而开口的第二通气路径(23A)；连通第一通气路径(19C)和第二通气路径(23A)的孔(21A)。

主权项

一种晶片检查用接口，其用于将进行晶片的电特性检查的测试器与晶片电连接，该晶片检查用接口的特征在于，包括：具有与所述晶片的多个电极电接触的多个探针的探针卡；使所述晶片吸附于所述探针卡的吸附机构；与通过所述吸附机构吸附于所述探针卡的所述晶片的外周边部接触的、与所述探针卡主体之间形成密闭空间的环状的晶片吸附用密封部件；和将所述晶片吸附用密封部件固定于所述探针卡的卡保持具的固定环，其中，所述吸附机构包括：排气单元；第一通气路径，其以一端部在所述密闭空间开口另一端部在所述固定环一侧开口的方式设置于所述探针卡主体；第二通气路径，其以一端部与所述第一通气路径的另一端部的开口相对并开口，另一端部用于与所述排气单元连接而开口的方式设置于所述固定环；和孔，其以连通所述第一通气路径的另一端部的开口与所述第二通气路径的一端部的开口的方式设置于所述晶片吸附密封部件。