一种等离子体喷枪

摘要

本实用新型揭示了一种等离子体喷枪，用于气相反应工艺之中，该喷枪为外层阳极套管，中间层绝缘套管和内层阴极套管复合的三层套接结构，其中该外层阳极套管接地，该内层阴极套管为空心阴极结构并连接高频电源，该喷枪的喷头空心阴极细于喷枪枪体的空心阴极。本实用新型一种等离子体喷枪的应用实施，较之于常规等离子体喷枪，本实用新型的喷枪结构具有气相反应温和，更适于处理某些敏感材料，而且突破了喷枪对负压及真空腔体的过度依赖，使其能自如地应用于普通大气环境下，且提高了高能粒子的输出密度，材料表面改性处理效果较好。

主权项

一种等离子体喷枪，用于气相反应工艺之中，其特征在于：所述喷枪为外层阳极套管，中间层绝缘套管和内层阴极套管复合的三层套接结构，其中所述外层阳极套管接地，所述内层阴极套管为空心阴极结构并连接高频电源，所述喷枪的喷头空心阴极细于喷枪枪体的空心阴极。