超声波探头以及超声波摄像装置

摘要

降低由在静电容型微机械超声波换能器的基板上产生的横波所引起的假像。将超声波换能器的基板厚度设定为最适当的范围，有效率地将超声波换能器的灵敏度带域(91)内的横波能量辐射到外部来衰减横波，谋求降低超声波摄像中的假像。

主权项

一种超声波探头，其特征在于，具有静电容型微机械超声波换能器，所述静电容型微机械超声波换能器具有：具备第1电极的基板；和具备第2电极的振动膜，所述振动膜的周缘部通过从所述基板立起的支撑壁固定于所述基板上，并在所述基板和所述振动膜之间形成有空隙层，在所述基板内进行传播的横波音速在该超声波探头的灵敏度带域内的至少一部分的频带中，为与所述基板或所述振动膜接触的媒介物的纵波音速以上。