在电极基材料表面原位生长纳米氧化锌的方法

摘要

本发明提供的是一种在铜基片表面原位生长纳米氧化锌的方法。先把铜基片表面用砂纸打磨合金，直至其表面光亮、平整，将打磨好的铜基片表面用蒸馏水冲洗后，放入丙酮中，超声处理15-20分钟后取出并用蒸馏水冲洗，然后进行碱洗除油、蒸馏水冲洗、晾干备用；采用共溅射在铜基片上镀一层Cu-Zn合金，然后把预处理过的铜基片放入去离子水中，在90℃温度下反应18小时后取出。本发明制备氧化锌的方法过程中不引入有机试剂，有利于在生物体系中的应用。

主权项

一种在电极基材料表面原位生长纳米氧化锌的方法，其特征是该方法具体如下：  a、电极基表面的预处理先把电极基片依次用蒸馏水冲洗后，放入丙酮中，超声处理10~15分钟后取出并用蒸馏水冲洗，然后进行碱洗除油，取出并用蒸馏水冲洗、氮气气氛干燥备用；b、电极基表面ZnO的制备将清洗干净的电极基用Zn靶和Cu靶共溅射的方法镀上一层Zn‑Cu合金；所述的Zn靶和Cu靶，其直径为Ф60mm,厚度为5mm；所述的溅射,其方式采用射频磁控溅射，Zn靶的射频磁控溅射功率为40W；Cu靶的射频磁控溅射功率为80~140W；所述溅射靶即Zn靶和Cu靶与基底底座倾斜成60°，基底与各靶对称分布且距离都为65cm；所述溅射靶即Zn靶和Cu靶,在溅射前经过5分钟的预溅射清洗；所述基底，其底座在溅射过程中旋转速度为10rpm；溅射基底温度为20℃~400℃，本底真空度10‑4 Pa,氮气流量范围为0sccm~50sccm,优化氮气流量为10sccm,通过控制氩气使工作气压保持在0.3Pa；溅射完自然冷却后取出，放入加有50 ~80ml去离子水的水热反应釜，在 85~95℃反应3~6h，取出电极基，用去离子水冲洗，即得到长满纳米ZnO 的电极基。