发明名称 |
一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机 |
摘要 |
一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机,包括机架,所述机架的操作平台上安装有带空腔的底座,所述底座上连接有可旋转的带空腔的上盖,所述底座内从下往上依次安装有抽气平台、装片PSS盘、硅片定位盘,所述硅片定位盘由固定盘定位固定安装;所述底座上开有腔体第一出口、腔体第二出口、腔体第三出口,所述腔体第一出口与抽气平台连通,所述腔体第二出口和腔体第三出口均设在抽气平台的外侧,所述腔体第一出口、腔体第二出口与对腔体抽真空的真空泵连接,所述真空泵安装在机架底部平台上,所述腔体第三出口与输送氮气进入腔体的装置连接。本发明的有益效果:自动化程度高,操作方便,节省劳动力,降低了装片时的破损率,提高了刻蚀工艺的工作进程。 |
申请公布号 |
CN102403252A |
申请公布日期 |
2012.04.04 |
申请号 |
CN201110317710.3 |
申请日期 |
2011.10.19 |
申请人 |
嘉兴科民电子设备技术有限公司 |
发明人 |
夏洋 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 |
代理人 |
赵芳;徐关寿 |
主权项 |
一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机,包括机架,其特征在于:所述机架的操作平台上安装有带空腔的底座,所述底座上连接有可旋转的带空腔的上盖,所述底座内从下往上依次安装有抽气平台、装片PSS盘、硅片定位盘,所述硅片定位盘由固定盘定位固定安装;所述底座上开有腔体第一出口、腔体第二出口、腔体第三出口,所述腔体第一出口与抽气平台连通,所述腔体第二出口和腔体第三出口均设在抽气平台的外侧,所述腔体第一出口、腔体第二出口与对腔体抽真空的真空泵连接,所述真空泵安装在机架底部平台上,所述腔体第三出口与输送氮气进入腔体的装置连接。 |
地址 |
314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号JRC大楼A213 |