图案的形成方法及其所使用的感光性树脂组合物

摘要

本发明涉及一种图案的形成方法及其所使用的感光性树脂组合物。本发明提供可改善涂敷性和形成的图案形状的感光性树脂组合物及采用其的图案形成方法。该感光性树脂组合物含有碱可溶性树脂、感光剂和混合溶剂，上述混和溶剂含有丙二醇单甲醚乙酸酯和在20℃下蒸气压为150Pa以下的共溶剂。该组合物适合用于通过狭缝涂敷法进行涂敷的情况。

主权项

一种正型图案形成方法，其特征在于包括：将感光性树脂组合物通过狭缝涂敷法涂敷于基板上使其形成涂膜，上述感光性树脂组合物含有酚醛清漆树脂、感光剂和混合溶剂，上述混合溶剂由丙二醇单甲醚乙酸酯和选自乙二醇丁基醚乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、3‑乙氧基丙酸乙酯、以及它们的混合物构成的群组中的在1个大气压、20℃下蒸气压为5Pa以上，且150Pa以下的共溶剂构成，其中上述共溶剂的含量，基于全部混合溶剂的重量为5～70重量％；将所形成的涂膜进行减压干燥；继续进行加热干燥，以蒸发除去至少一部分溶剂；按所需图案进行图像曝光；进行显影使其形成图案；将显影后的图案进行加热使其固化。