| 发明名称 | 混合型电容耦合和电感耦合等离子处理系统的方法和设备 | ||
| 摘要 | 提供一种具有用于处理基片的等离子处理室的电容耦合等离子(CCP)处理系统。该电容耦合等离子(CCP)处理系统包括用于处理该基片的上部电极和下部电极，该基片在等离子处理期间设在该下部电极上。该电容耦合等离子(CCP)处理系统还包括感应线圈装置阵列，构造为该上部电极和该下部电极之间的间隙中以感应方式维持等离子。 | ||
| 申请公布号 | CN101809722B | 申请公布日期 | 2012.04.04 |
| 申请号 | CN200880110039.1 | 申请日期 | 2008.09.29 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 阿列克谢·马拉赫塔诺夫;尼尔·本杰明;艾瑞克·胡德森;拉金德尔·德辛德萨 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 周文强;李献忠 |
| 主权项 | 一种具有用于处理基片的等离子处理室的电容耦合等离子(CCP)处理系统，包括：至少用于处理所述基片的上部电极和下部电极，所述基片在等离子处理期间设在所述下部电极上；以及感应线圈装置阵列，所述感应线圈装置阵列设在所述上部电极上方，所述感应线圈装置阵列构造为在所述上部电极和所述下部电极之间的间隙中以感应方式维持等离子，所述感应线圈阵列至少包括一组磁性芯体和一组线圈，该组线圈的每个线圈分别缠绕该组磁性芯体的一个磁性芯体上，该组磁性芯体包括一组磁棒和一组马蹄形磁体的至少一个，该组磁性芯体通过一组磁性连接件耦合，其中所述多个感应线圈的至少一个子集中独立个体可独立控制相位和RF功率。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||