| 发明名称 | 纵型热处理装置及其控制方法 | ||
| 摘要 | 提供一种使处理容器内的温度高精度地收敛到目标温度并且能够缩短收敛时间的纵型热处理装置及其控制方法。热处理装置(1)具备：炉本体(5)、设置在炉本体(5)内周面的加热器(18A)、配置在炉本体(5)内的处理容器(3)、连接在炉本体(5)的冷却介质供给鼓风机(53)和冷却介质排气鼓风机(63)以及设置在处理容器(3)内的温度传感器(50)。来自温度传感器(50)的信号发送给控制装置(51)的加热器输出运算部(51a)。在加热器输出运算部(51a)中，根据由设定温度决定部(51c)求出的设定温度(A)和来自温度传感器(50)的温度来求出在仅用加热器(18A)进行温度调整时的加热器输出。鼓风机输出运算部(51b)根据加热器输出来产生鼓风机输出。 | ||
| 申请公布号 | CN102403195A | 申请公布日期 | 2012.04.04 |
| 申请号 | CN201110268903.4 | 申请日期 | 2011.09.07 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 吉井弘治;山口达也;王文凌;斋藤孝规 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;F27D17/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 一种热处理装置，其特征在于，具备：炉本体；加热器，其设置在炉本体内周面；处理容器，其配置在炉本体内，与炉本体之间形成空间，并且在该处理容器内部收纳多个被处理体；鼓风机，其连接于炉本体，向炉本体与处理容器之间的空间供给冷却介质；温度传感器，其检测处理容器内部或者外部的温度；以及控制装置，其控制加热器和鼓风机，调整处理容器内的温度来使处理容器内的温度收敛为规定的目标温度，其中，上述控制装置具有：加热器输出运算部，其根据预先确定的设定温度和来自温度传感器的温度来决定在仅用加热器进行温度调整时的加热器输出；以及鼓风机输出运算部，其根据来自加热器输出运算部的加热器输出来决定鼓风机输出。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||