发明名称 |
压力传感器 |
摘要 |
一种压力传感器,其有助于将传感器和/或传感器部件与待感测的介质隔离开来,和/或有助于减少由恶劣操作环境导致的传感器损坏。在一个说明性实施例中,该压力传感器包括基板,在该基板第一侧面上安装有压力感测裸片,第一壳体构件限定了围绕压力感测裸片的第一空腔,以及第二壳体构件限定了在基板第二侧面上的第二空腔。钝化剂例如凝胶可置于第一空腔和第二空腔中,以将压力从介质传送到压力感测元件(例如薄膜),同时将压力感测元件以及其它部件与介质隔离开来。在某些情况下,第一壳体构件和/或第二壳体构件可包括使钝化剂暴露于介质的开口。在某些情况下,该开口可由一个或多个锥形的和/或倒角的边缘限定,以助于提供对冰冻破坏的保护。 |
申请公布号 |
CN102401715A |
申请公布日期 |
2012.04.04 |
申请号 |
CN201110289978.0 |
申请日期 |
2011.08.22 |
申请人 |
霍尼韦尔国际公司 |
发明人 |
R·沃德;I·本特利 |
分类号 |
G01L9/06(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01L9/06(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
原绍辉 |
主权项 |
一种压力传感器(10),包括:基板(12),其包括第一侧面及第二侧面,该基板(12)包括在第一侧面以及第二侧面之间延伸的开口(24);压力感测裸片(18),其直接安装在所述基板(12)的第一侧面,其中该压力感测裸片(18)包括薄膜以及位于薄膜上的一个或多个压电电阻元件,其中该压力感测裸片(18)位于开口(24)上方;第一壳体构件,其位于所述基板(12)的第一侧面上并限定出围绕压力感测裸片(18)的第一空腔(28),其中第一壳体构件包括由第一壳体构件的一个或多个第一边缘(21)限定的第一压力开口(20);第一钝化剂(13),其位于第一空腔(28)内,以覆盖至少部分的压力感测裸片(18)以及至少部分的基板(12)的第一侧面;第二壳体构件,其位于所述基板(12)的第二侧面上并限定出第二空腔(29),其中第二壳体构件包括由第二壳体构件的一个或多个第二边缘(21)限定的第二压力开口(22);以及第二钝化剂(13),位于第二空腔(29)内,以覆盖至少部分的基板(12)的第二侧面。 |
地址 |
美国新泽西州 |